湖北工业大学2026年05月政府采购意向公开
发布日期：2026-04-27
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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将（湖北工业大学） 2026年 04（至）05 月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购单位 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 步进式紫外曝光系统 | 理学院 | （一）采购内容：步进式紫外曝光系统1套 （二）主要功能或目标：步进式紫外曝光系统包括晶圆传输系统和纳米级精度多自由度运动台的整机系统，含晶圆传输模块、纳米精度工件台模块、纳米精度掩模台模块、投影物镜、LED照明系统、控制系统、视觉系统等，满足芯片制作光刻工艺要求，可实现芯片领域科研与教学应用目标。 （三）需满足的需求：满足硅片、蓝宝石、碳化硅等衬底光刻工艺需求，分辨率优于0.6μm L/S，对准精度优于0.1μm，适配1英寸，2英寸晶圆。满足晶圆制造光刻工艺教学科研需求。 |
290 | 2026年05月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
湖北工业大学
2026年04月27日
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